Cleachdaidhean de hexafluoride tungsten (WF6)

Tha Tungsten hexafluoride (WF6) air a thasgadh air uachdar an wafer tro phròiseas CVD, a ’lìonadh nan trainnsichean eadar-cheangail meatailt, agus a’ cruthachadh an eadar-cheangal meatailt eadar sreathan.

Bruidhnidh sinn mu dheidhinn plasma an toiseach.Is e seòrsa de stuth a th ’ann am plasma sa mhòr-chuid air a dhèanamh suas de electronan an-asgaidh agus ions luchdaichte.Tha e ri fhaighinn gu farsaing anns a ’chruinne-cè agus tha e gu tric air fhaicinn mar an ceathramh staid cùis.Is e seo an stàit plasma, ris an canar cuideachd “Plasma”.Tha giùlan dealain àrd aig Plasma agus tha buaidh ceangail làidir aige le raon electromagnetic.Is e gas a tha ann an ionization gu ìre, air a dhèanamh suas de electronan, ions, radicals an-asgaidh, mìrean neodrach, agus photons.Tha am plasma fhèin na mheasgachadh dealanach neodrach anns a bheil mìrean gnìomhach gu corporra agus gu ceimigeach.

Is e am mìneachadh dìreach, fo ghnìomhachd lùth àrd, gum bi am moileciuil a ’faighinn thairis air feachd van der Waals, feachd ceangail cheimigeach agus feachd Coulomb, agus a’ taisbeanadh seòrsa de dhealan neodrach gu h-iomlan.Aig an aon àm, tha an lùth àrd a bheir an taobh a-muigh seachad air na trì feachdan gu h-àrd.Tha gnìomh, dealanan agus ions a ’taisbeanadh staid an-asgaidh, a ghabhas cleachdadh gu h-ealanta fo mhodaladh raon magnetach, leithid pròiseas searbhagachd semiconductor, pròiseas CVD, pròiseas PVD agus IMP.

Dè a th ’ann an lùth àrd?Ann an teòiridh, faodar an dà chuid RF aig teòthachd àrd agus tricead àrd a chleachdadh.San fharsaingeachd, tha teòthachd àrd cha mhòr do-dhèanta a choileanadh.Tha an riatanas teòthachd seo ro àrd agus dh ’fhaodadh gum bi e faisg air teòthachd na grèine.Tha e gu bunaiteach do-dhèanta a choileanadh sa phròiseas.Mar sin, mar as trice bidh an gnìomhachas a ’cleachdadh RF àrd-tricead gus a choileanadh.Faodaidh Plasma RF ruighinn cho àrd ri 13MHz +.

Tha hexafluoride tungsten air a plasmachadh fo ghnìomhachd raon dealain, agus an uairsin air a thasgadh le achadh magnetach.Tha dadaman W coltach ri itean gèadh geamhraidh agus bidh iad a ’tuiteam chun talamh fo ghnìomhachd grabhataidh.Gu mall, thèid dadaman W a thasgadh a-steach do na tuill troimhe, agus mu dheireadh air an lìonadh Làn tro thuill gus ceanglaichean meatailt a chruthachadh.A bharrachd air na dadaman W a thasgadh anns na tuill troimhe, an tèid an tasgadh air uachdar an Wafer cuideachd?Tha, gu cinnteach.San fharsaingeachd, faodaidh tu pròiseas W-CMP a chleachdadh, agus is e sin a chanas sinn ris a ’phròiseas bleith meacanaigeach airson a thoirt air falbh.Tha e coltach ri bhith a ’cleachdadh broom airson an làr a sguabadh às deidh sneachda trom.Tha an sneachda air an talamh air a sguabadh air falbh, ach fuirichidh an sneachda anns an toll air an talamh.Sìos, an ìre mhath an aon rud.


Ùine puist: Dùbhlachd-24-2021

Cuir do theachdaireachd thugainn: