Tha Tungsten Hexafluoride (WF6) air a thasgadh air uachdar an Wafer tro phròiseas CVD, a 'lìonadh trainnsichean eadar-cheangailte meatailt, agus a' cruthachadh a 'chonnspaid meatailt eadar sreathan.
Bruidhnidh sinn mu Plasma an toiseach. Tha Plasma na sheòrsa de chuspair a tha sa mhòr-chuid air a dhèanamh suas de electrons an-asgaidh agus leòmhainn fo chasaid. Tha e ann gu farsaing anns a 'chruinne-chruinne agus gu tric tha e air a mheas mar an ceathramh staid de stuth. Canar Stàit Plasma ris an canar cuideachd "Plasma" ris. Tha adhartachadh dealain àrd aig Plasma agus tha buaidh làidir aig Plasma le raon electromagnetic. Tha e na ghas ann am pàirt, air a dhèanamh de bholtaichean, eans, radaig an-asgaidh, gràineanan neodrach agus phàrant. Tha am plasma fhèin na mheasgachadh neo-dealanach anns a bheil gràineanan gu corporra agus gu math gnìomhach.
Is e am mìneachadh sìmplidh sin fo ghnìomh lùthchd, bidh am moolecule a 'faighinn thairis air feachd van de Walals, feachd Bond Chemigeach, agus a' taisbeanadh dealan neodrach gu h-iomlan. Aig an aon àm, tha an lùth àrda a chaidh a mheasadh a 'faighinn thairis air na trì feachdan gu h-àrd. Gnìomh, electronans agus ians Faodaidh stàit an-asgaidh a th 'ann an-asgaidh, a dh' fhaodar a chleachdadh gu h-ealanta fonarrachadh raon magnetach, pròiseas searbhagaich semiconductor, pròiseas CVD agus IM Pròiseasll agus Imp agus Imp agus Imp agus Pròiseas CVD.
Dè a th 'ann an lùth àrd? Anns an teòiridh, faodar an dà chuid teòthachd àrd agus àrd tricead rf a chleachdadh. Anns a 'san fharsaingeachd, cha mhòr nach eil an teòthachd àrd cha mhòr do-dhèanta a choileanadh. Tha an riatanas teòthachd seo ro àrd agus dh 'fhaodadh gum bi e faisg air teòthachd na grèine. Tha e do-dhèanta a choileanadh sa phròiseas. Mar sin, mar as trice bidh an gnìomhachas mar as trice a 'cleachdadh rf àrd-tricead gus a choileanadh. Faodaidh plasma rf ruighinn cho àrd ri 13mhhz +.
Tungsten hexafluoride air plasmaachadh fo ghnìomh achadh dealain, agus an uairsin saothair a chaidh a thasgadh le raon magnetach. Bidh a dadars coltach ri itean geamhraidh geamhraidh agus a 'tuiteam chun talamh fo ghnìomhachd grabhataidh. Gu mill, tha an dadagan air an tasgadh a-steach do na tuillean tro thro troimhe, agus air a lìonadh tro thuill gus eadar-cheangailte meatailt a chruthachadh. A bharrachd air a bhith a 'tasgadh leis na dadaman anns na tuill tro thro troimhe, thèid iad a thasgadh air uachdar an Wafer? Tha, gu cinnteach. San fharsaingeachd, faodaidh tu am pròiseas W-CMP a chleachdadh, is e sin a chanas sinn ris a 'phròiseas bleith meacanaigeach gus toirt air falbh. Tha e coltach ri bhith a 'cleachdadh broom gus an làr a sguabadh às deidh sneachda trom. Tha an sneachda air an talamh air a sguabadh air falbh, ach fuirichidh an sneachda anns an toll air an talamh. Sìos, gu ìre mhòr an aon rud.
Ùine a 'phuist: Dùbhlachd-24-2021
