Cleachdadh hexafluoride tungsten (WF6)

Tha tungsten hexafluoride (WF6) air a thasgadh air uachdar an wafer tro phròiseas CVD, a ’lìonadh na trainnsichean eadar-cheangail meatailt, agus a’ cruthachadh an eadar-cheangal meatailt eadar sreathan.

Bruidhnidh sinn mu dheidhinn plasma an toiseach. Tha plasma na sheòrsa de stuth a tha gu ìre mhòr air a dhèanamh suas de eleactronan an-asgaidh agus ianan cosgais. Tha e ann gu farsaing anns a’ chruinne-cè agus gu tric thathas ga fhaicinn mar an ceathramh staid de chùis. Canar an staid plasma ris, ris an canar cuideachd “Plasma”. Tha giùlan dealain àrd aig plasma agus tha buaidh ceangail làidir aige le raon electromagnetic. Is e gas pàirt-ianach a th’ ann, air a dhèanamh suas de eleactronan, ions, radicals an-asgaidh, mìrean neodrach, agus photons. Tha am plasma fhèin na mheasgachadh neodrach le dealan anns a bheil mìrean gnìomhach gu corporra agus gu ceimigeach.

Is e am mìneachadh sìmplidh, fo ghnìomhachd lùth àrd, gum faigh am moileciuil thairis air feachd van der Waals, feachd ceangail ceimigeach agus feachd Coulomb, agus gun nochd e seòrsa de dhealan neodrach gu h-iomlan. Aig an aon àm, tha an lùth àrd a tha an taobh a-muigh a 'toirt seachad a' faighinn thairis air na trì feachdan gu h-àrd. Tha gnìomh, dealanan agus ianan a’ nochdadh staid an-asgaidh, a dh’ fhaodar a chleachdadh gu saor-thoileach fo bhith ag atharrachadh raon magnetach, leithid pròiseas sìolachaidh leth-chonnsair, pròiseas CVD, pròiseas PVD agus IMP.

Dè a th 'ann an lùth àrd? Ann an teòiridh, faodar an dà chuid teòthachd àrd agus RF tricead àrd a chleachdadh. San fharsaingeachd, tha teòthachd àrd cha mhòr do-dhèanta a choileanadh. Tha an riatanas teòthachd seo ro àrd agus faodaidh e a bhith faisg air teòthachd na grèine. Gu bunaiteach tha e do-dhèanta a choileanadh sa phròiseas. Mar sin, mar as trice bidh an gnìomhachas a’ cleachdadh RF àrd-tricead gus a choileanadh. Faodaidh Plasma RF ruighinn cho àrd ri 13MHz +.

Tha tungsten hexafluoride air a phlasmaachadh fo ghnìomhachd raon dealain, agus an uairsin air a thasgadh le achadh magnetach. Tha W atoms coltach ri itean gèadh geamhraidh agus bidh iad a’ tuiteam chun na talmhainn fo ghnìomhachd grabhataidh. Beag air bheag, bidh dadaman W air an cur a-steach do na tuill troimhe, agus mu dheireadh air an lìonadh Làn tro thuill gus eadar-cheanglaichean meatailt a chruthachadh. A bharrachd air a bhith a’ tasgadh dadaman W anns na tuill troimhe, am bi iad cuideachd air an tasgadh air uachdar an Wafer? Tha, gu cinnteach. San fharsaingeachd, faodaidh tu pròiseas W-CMP a chleachdadh, agus is e sin ris an can sinn am pròiseas bleith meacanaigeach airson a thoirt air falbh. Tha e coltach ri bhith a 'cleachdadh broom gus an làr a sguabadh às deidh sneachda trom. Tha an sneachd air an talamh air a sguabadh air falbh, ach mairidh an sneachd anns an toll air an talamh. Sìos, timcheall air an aon rud.