Tha heicsafluoride tungsten (WF6) air a thasgadh air uachdar a’ wafer tro phròiseas CVD, a’ lìonadh nan claisean eadar-cheangail meatailt, agus a’ cruthachadh an eadar-cheangail meatailt eadar sreathan.
Bruidhnidh sinn mu phlasma an toiseach. 'S e seòrsa de stuth a th' ann am plasma a tha air a dhèanamh suas sa mhòr-chuid de eileagtronaichean saora agus ianan le cosgais. Tha e ri fhaighinn gu farsaing anns a' chruinne-cè agus thathas tric ga mheas mar an ceathramh staid de stuth. Canar staid a' phlasma ris, ris an canar cuideachd "Plasma". Tha seoltachd dealain àrd aig plasma agus tha buaidh ceangail làidir aige le raon electromagnetic. 'S e gas pàirt-ionichte a th' ann, air a dhèanamh suas de eileagtronaichean, ianan, radicals saora, mìrean neodrach, agus fotonan. Tha am plasma fhèin na mheasgachadh neodrach gu dealain anns a bheil mìrean gnìomhach gu corporra agus gu ceimigeach.
Is e am mìneachadh sìmplidh, fo ghnìomhachd lùth àrd, gun cuir am moileciuil thairis air feachd van der Waals, feachd a’ cheangail cheimigeach agus feachd Coulomb, agus gun nochd e seòrsa de dhealan neodrach san fharsaingeachd. Aig an aon àm, bidh an lùth àrd a tha air a thoirt seachad leis an taobh a-muigh a’ faighinn thairis air na trì feachdan gu h-àrd. Gnìomh, tha dealanan agus ianan a’ nochdadh staid shaor, a ghabhas cleachdadh gu saorga fo mhodachadh raon magnetach, leithid pròiseas gràbhaladh leth-chonnsachaidh, pròiseas CVD, pròiseas PVD agus pròiseas IMP.
Dè a th’ ann an lùth àrd? Ann am prionnsabal, faodar RF aig teòthachd àrd agus tricead àrd a chleachdadh. San fharsaingeachd, tha e cha mhòr do-dhèanta teòthachd àrd a choileanadh. Tha an riatanas teòthachd seo ro àrd agus dh’ fhaodadh e a bhith faisg air teòthachd na grèine. Tha e cha mhòr do-dhèanta a choileanadh sa phròiseas. Mar sin, mar as trice bidh an gnìomhachas a’ cleachdadh RF àrd-tricead gus a choileanadh. Faodaidh RF plasma ruighinn cho àrd ri 13MHz+.
Tha heicsafluoride tungsten air a phlasmaachadh fo ghnìomh raon dealain, agus an uairsin air a thasgadh le ceò le raon magnetach. Tha ataman W coltach ri itean gèadh geamhraidh agus a’ tuiteam chun na talmhainn fo ghnìomh grabhataidh. Mean air mhean, tha ataman W air an tasgadh a-steach do na tuill troimhe, agus mu dheireadh air an lìonadh gu h-iomlan gus ceanglaichean meatailt a chruthachadh. A bharrachd air ataman W a thasgadh anns na tuill troimhe, an tèid an tasgadh cuideachd air uachdar an Wafer? 'S e, gu cinnteach. San fharsaingeachd, faodaidh tu am pròiseas W-CMP a chleachdadh, agus is e sin a chanas sinn ris a' phròiseas bleith meacanaigeach gus a thoirt air falbh. Tha e coltach ri bhith a’ cleachdadh broom gus an làr a sguabadh às deidh sneachda throm. Tha an sneachda air an talamh air a sguabadh air falbh, ach fuirichidh an sneachda anns an toll air an talamh. Sìos, cha mhòr an aon rud.
Àm puist: 24 Dùbhlachd 2021
