Tha gasaichean dealanach sònraichte anns a bheil fluorine a’ toirt a-steachsulbhur hexafluoride (SF6), hexafluoride tungsten (WF6),carbon tetrafluoride (CF4), trifluoromethane (CHF3), nitrogen trifluoride (NF3), hexafluoroethane (C2F6) agus octafluoropropane (C3F8).
Le leasachadh nanicneòlas agus leasachadh mòr air gnìomhachas an eileagtronaigeach, bidh an t-iarrtas aige a’ dol am meud bho latha gu latha. Tha àite margaidh farsaing aig nitrogen trifluoride, mar ghas dealanach sònraichte riatanach agus as motha a chleachdar ann an cinneasachadh agus giullachd phannalan agus semiconductors.
Mar sheòrsa de ghas sònraichte anns a bheil fluorine,nitrogen trifluoride (NF3)an toradh gas sònraichte dealanach leis a’ chomas margaidh as motha. Tha e inert gu ceimigeach aig teòthachd an t-seòmair, nas gnìomhaiche na ocsaidean aig teòthachd àrd, nas seasmhaiche na fluorine, agus furasta a làimhseachadh. Tha nitrigin trifluoride air a chleachdadh sa mhòr-chuid mar ghas sgudail plasma agus inneal glanaidh seòmar ath-bhualadh, agus tha e freagarrach airson raointean saothrachaidh chips semiconductor, taisbeanaidhean pannal còmhnard, snàithleach optigeach, ceallan photovoltaic, msaa.
An coimeas ri gasaichean dealanach eile anns a bheil fluorine,nitrogen trifluoridetha na buannachdan aige bho fhreagairt luath agus àrd-èifeachdas. Gu sònraichte ann a bhith a’ seargadh stuthan anns a bheil sileaconach leithid sileacon nitride, tha ìre àrd de shìneadh agus roghnachas aige, a’ fàgail fuigheall sam bith air uachdar an stuth eitseil. Tha e cuideachd na àidseant glanaidh fìor mhath agus chan eil truailleadh air an uachdar, a choinnicheas ri feumalachdan a’ phròiseas giollachd.
Ùine puist: Sultain-14-2024
