Am measg nan gasaichean dealanach sònraichte cumanta anns a bheil fluorine thasulfair heacsafluoride (SF6), hexafluoride tungsten (WF6),tetrafluoride charbon (CF4), trifluoromethane (CHF3), naitridean trifluoride (NF3), hexafluoroethane (C2F6) agus octafluoropropane (C3F8).
Le leasachadh nanoteicneòlais agus leasachadh mòr-sgèile gnìomhachas an eileagtronaig, bidh an t-iarrtas aige a’ dol am meud latha às dèidh latha. Tha àite margaidh farsaing aig naitridean trifluoride, mar ghas eileagtronaigeach sònraichte riatanach agus as motha a thathas a’ cleachdadh ann an cinneasachadh agus giullachd phannalan agus leth-chonnsachaidhean.
Mar sheòrsa de ghas sònraichte anns a bheil fluorine,naitridean trifluoride (NF3)’S e seo an toradh gas sònraichte dealanach leis a’ chomas margaidh as motha. Tha e neo-ghnìomhach gu ceimigeach aig teòthachd an t-seòmair, nas gnìomhaiche na ocsaidean aig teòthachd àrd, nas seasmhaiche na fluorine, agus furasta a làimhseachadh. Tha naitridean trifluoride air a chleachdadh sa mhòr-chuid mar ghas gràbhaidh plasma agus àidseant glanaidh seòmar ath-bhualadh, agus tha e freagarrach airson raointean saothrachaidh sgoltagan leth-chonnsachaidh, taisbeanaidhean pannal còmhnard, snàithleanan optaigeach, ceallan photovoltaic, msaa.
An coimeas ri gasaichean dealanach eile anns a bheil fluorine,naitridean trifluorideTha buannachdan aige leithid freagairt luath agus èifeachdas àrd. Gu sònraichte ann an gràbhaladh stuthan anns a bheil silicon leithid silicon nitride, tha ìre gràbhaladh agus roghnachd àrd aige, gun a bhith a’ fàgail fuigheall air uachdar an nì gràbhte. Tha e cuideachd na àidseant glanaidh glè mhath agus chan eil truailleadh sam bith air an uachdar, a dh’ fhaodas coinneachadh ri feumalachdan a’ phròiseis giullachd.
Àm puist: 14 Sultain 2024
