Tha gnìomhachas leth-chonnsachaidh agus gnìomhachas nam pannalan againn a’ cumail ìre àrd de shoirbheachadh. Tha àite margaidh farsaing aig naitridean trifluoride, mar ghas dealanach sònraichte riatanach agus leis an tomhas-lìonaidh as motha ann an cinneasachadh agus giullachd phannalan agus leth-chonnsachaidh.
Am measg nan gasaichean dealanach sònraichte anns a bheil fluorine a thathas a’ cleachdadh gu cumanta thasulfair heacsafluoride (SF6), hexafluoride tungsten (WF6),tetrafluoride charbon (CF4), trifluoromethane (CHF3), naitridean trifluoride (NF3), hexafluoroethane (C2F6) agus octafluoropropane (C3F8). Bithear a’ cleachdadh naitridean trifluoride (NF3) sa mhòr-chuid mar thùs fluorine airson leusairean ceimigeach àrd-lùth gas haidridean fluoride-fluoride. Faodar am pàirt èifeachdach (mu 25%) den lùth ath-bhualadh eadar H2-O2 agus F2 a leigeil ma sgaoil le rèididheachd leusair, agus mar sin is iad leusairean HF-OF na leusairean as gealltanach am measg leusairean ceimigeach.
Tha naitridean trifluoride na ghas gràbhaidh plasma sàr-mhath ann an gnìomhachas meanbh-eileagtronaigeach. Airson gràbhadh silicon agus silicon nitride, tha ìre gràbhaidh agus roghnachd nas àirde aig naitridean trifluoride na tetrafluoride carbon agus measgachadh de tetrafluoride carbon agus ogsaidean, agus chan eil truailleadh sam bith air an uachdar. Gu sònraichte ann an gràbhadh stuthan cuairteachaidh amalaichte le tiugh nas lugha na 1.5um, tha ìre gràbhaidh agus roghnachd fìor mhath aig naitridean trifluoride, gun a bhith a’ fàgail fuigheall air uachdar an nì gràbhte, agus tha e cuideachd na àidseant glanaidh fìor mhath. Le leasachadh nanoteicneòlais agus leasachadh mòr-sgèile gnìomhachas an eileagtronaigeach, bidh an t-iarrtas aige a’ dol am meud latha às dèidh latha.
Mar sheòrsa de ghas sònraichte anns a bheil fluorine, ’s e naitridean trifluoride (NF3) an toradh gas sònraichte dealanach as motha air a’ mhargaidh. Tha e neo-ghnìomhach gu ceimigeach aig teòthachd an t-seòmair, nas gnìomhaiche na ocsaidean, nas seasmhaiche na fluorine, agus furasta a làimhseachadh aig teòthachd àrd.
Tha naitridean trifluoride air a chleachdadh sa mhòr-chuid mar ghas gràbhaladh plasma agus àidseant glanaidh seòmar ath-bhualadh, freagarrach airson raointean saothrachaidh leithid sgoltagan leth-chonnsachaidh, taisbeanaidhean pannal còmhnard, snàithleanan optaigeach, ceallan photovoltaic, msaa.
An coimeas ri gasaichean dealanach eile anns a bheil fluorine, tha buannachdan aig naitridean trifluoride ann an ath-bhualadh luath agus èifeachdas àrd, gu sònraichte ann an gràbhaladh stuthan anns a bheil silicon leithid silicon nitride, tha ìre gràbhaladh agus roghnachd àrd aige, gun a bhith a’ fàgail fuigheall air uachdar an nì gràbhte, agus tha e cuideachd na àidseant glanaidh glè mhath, agus chan eil e a’ truailleadh an uachdair agus faodaidh e coinneachadh ri feumalachdan a’ phròiseis giullachd.
Àm puist: 26 Dùbhlachd 2024
