Ann am pròiseas saothrachaidh ionadan-fùirneis wafer leth-chonnsachaidh le pròiseasan cinneasachaidh car adhartach, tha feum air faisg air 50 seòrsa eadar-dhealaichte de ghas. Mar as trice, tha gasaichean air an roinn ann an gasaichean mòra agusgasaichean sònraichte.

Cleachdadh ghasan ann an gnìomhachasan meanbh-eileagtronaigeach agus leth-chonnsachaidh Tha cleachdadh ghasan air a bhith cudromach an-còmhnaidh ann am pròiseasan leth-chonnsachaidh, gu h-àraidh tha pròiseasan leth-chonnsachaidh air an cleachdadh gu farsaing ann an diofar ghnìomhachasan. Bho ULSI, TFT-LCD chun ghnìomhachas meanbh-eileagtronaigeach (MEMS) an-diugh, thathas a’ cleachdadh pròiseasan leth-chonnsachaidh mar phròiseasan saothrachaidh thoraidhean, a’ gabhail a-steach searbhag tioram, ocsaidachadh, implantachadh ian, tasgadh film tana, msaa.

Mar eisimpleir, tha fios aig mòran dhaoine gu bheil sgoltagan air an dèanamh de ghainmhich, ach a’ coimhead air a’ phròiseas iomlan de bhith a’ dèanamh sgoltagan, tha feum air barrachd stuthan, leithid photoresist, leaghan snasail, stuth targaid, gas sònraichte, msaa. Tha feum air fo-stratan, eadar-chuirichean, frèamaichean luaidhe, stuthan ceangail, msaa. de dhiofar stuthan airson pacadh cùil cuideachd. Is e gasaichean sònraichte dealanach an dàrna stuth as motha ann an cosgaisean saothrachaidh leth-chonnsachaidh às deidh wafers silicon, agus an uairsin masgaichean agus photoresists.

Tha buaidh chinnteach aig purrachd gas air coileanadh phàirtean agus toradh toraidh, agus tha sàbhailteachd solar gas co-cheangailte ri slàinte luchd-obrach agus sàbhailteachd obrachadh factaraidh. Carson a tha buaidh cho mòr aig purrachd gas air an loidhne-phròiseis agus air luchd-obrach? Chan e àibheiseachadh a tha seo, ach tha e air a dhearbhadh le feartan cunnartach a’ ghasa fhèin.

Seòrsachadh ghasan cumanta ann an gnìomhachas leth-chonnsachaidh

Gas àbhaisteach

Canar gas mòr-chuid ri gas àbhaisteach cuideachd: tha e a’ toirt iomradh air gas gnìomhachais le riatanas purrachd nas ìsle na 5N agus meud cinneasachaidh is reic mòr. Faodar a roinn ann an gas dealachaidh èadhair agus gas synthetigeach a rèir diofar dhòighean ullachaidh. Haidridean (H2), naitridean (N2), ogsaidean (O2), argon (A2), msaa.;

Gas Sònraichte

Tha gas sònraichte a’ toirt iomradh air gas gnìomhachais a thathar a’ cleachdadh ann an raointean sònraichte agus aig a bheil riatanasan sònraichte airson purrachd, measgachadh agus feartan.SiH4, PH3, B2H6, A8H3,HCL, CF4,NH3, POCL3, SIH2CL2, SIHCL3,NH3, BCL3, SIF4, CLF3, CO, C2F6, N2O, F2, HF, HBR,SF6… Agus mar sin air adhart.

Seòrsachan de ghasan spìosrach

Seòrsachan gasaichean sònraichte: creimneach, puinnseanta, lasanta, a chuidicheas le losgadh, neo-ghnìomhach, msaa.
Tha gasaichean leth-chonnsachaidh a thathas a’ cleachdadh gu cumanta air an seòrsachadh mar a leanas:
(i) Creimneach/puinnseanta:HClBF3, WF6, HBr, SiH2Cl2, NH3, PH3, Cl2BCl3…
(ii) Lasanta: H2,CH4、SiH4, PH3 , AsH3 , SiH2Cl2 , B2H6 , CH2F2 , CH3F , CO …
(iii) So-lasanta: O2, Cl2, N2O, NF3…
(iv) Neo-ghnìomhach: N2,CF4C2F6C4F8、SF6CO2Ne、KrE…

Ann am pròiseas saothrachaidh sliseagan leth-chonnsachaidh, thathas a’ cleachdadh mu 50 seòrsa eadar-dhealaichte de ghas sònraichte (ris an canar gasaichean sònraichte) ann an ocsaidachadh, sgaoileadh, tasgadh, gràbhaladh, stealladh, fotolithografachd agus pròiseasan eile, agus tha na ceumannan iomlan sa phròiseas a’ dol thairis air ceudan. Mar eisimpleir, thathas a’ cleachdadh PH3 agus AsH3 mar thùsan fosfarais agus arsanaig sa phròiseas implantachadh ian, thathas a’ cleachdadh gasaichean stèidhichte air F CF4, CHF3, SF6 agus gasaichean halogen CI2, BCI3, HBr gu cumanta sa phròiseas gràbhaladh, SiH4, NH3, N2O sa phròiseas film tasgadh, F2/Kr/Ne, Kr/Ne sa phròiseas fotolithografachd.

Bho na taobhan gu h-àrd, is urrainn dhuinn a thuigsinn gu bheil mòran ghasan leth-chonnsachaidh cronail do chorp an duine. Gu sònraichte, tha cuid de na gasaichean, leithid SiH4, fèin-lasadh. Cho fad ‘s a bhios iad ag aodion, bidh iad ag ath-bhualadh gu fòirneartach le ocsaidean san adhar agus a’ tòiseachadh ri losgadh; agus tha AsH3 gu math puinnseanta. Faodaidh aodion beag cron a dhèanamh air beatha dhaoine, agus mar sin tha na riatanasan airson sàbhailteachd dealbhadh siostam smachd airson cleachdadh ghasan sònraichte gu sònraichte àrd.

Feumaidh leth-sheoladairean gum bi “trì ceuman” aig gasaichean àrd-ghlanachd

Purrachd gas

Mar as trice, thathar a’ cur an cèill susbaint àile neo-ghlainead anns a’ ghas mar cheudad de ghlanachd a’ ghasa, leithid 99.9999%. San fharsaingeachd, ruigidh an riatanas purrachd airson gasaichean sònraichte dealanach 5N-6N, agus tha e cuideachd air a chur an cèill leis a’ cho-mheas meud de shusbaint àile neo-ghlainead ppm (pàirt gach millean), ppb (pàirt gach billean), agus ppt (pàirt gach trillean). Tha na riatanasan as àirde aig raon leth-chonnsachaidh dealanach airson purrachd agus seasmhachd càileachd gasaichean sònraichte, agus mar as trice bidh purrachd gasaichean sònraichte dealanach nas motha na 6N.

Tiormachd

Mar as trice, thathar a’ cur an cèill susbaint uisge lorg anns a’ ghas, no taiseachd, ann am puing drùchd, leithid puing drùchd àile -70 ℃.

Glantachd

Tha an àireamh de ghràineanan truaillidh anns a’ ghas, gràineanan le meud gràinean de µm, air a chur an cèill ann an cia mheud gràin/M3. Airson èadhar teannaichte, mar as trice tha e air a chur an cèill ann am mg/m3 de fhuigheallan cruaidh do-sheachanta, a tha a’ gabhail a-steach susbaint ola.