Ann am pròiseas saothrachaidh fhùirneis wafer semiconductor le pròiseasan toraidh gu ìre mhath adhartach, tha feum air faisg air 50 seòrsa de ghas. Mar as trice tha gasaichean air an roinn ann an gasaichean mòra agusgasaichean sònraichte.

Cur an sàs gasaichean ann an gnìomhachasan microelectronics agus semiconductor Tha cleachdadh ghasaichean an-còmhnaidh air a bhith air leth cudromach ann am pròiseasan semiconductor, gu sònraichte tha pròiseasan semiconductor air an cleachdadh gu farsaing ann an grunn ghnìomhachasan. Bho ULSI, TFT-LCD chun a ’ghnìomhachais meanbh-electromechanical (MEMS) gnàthach, thathas a’ cleachdadh pròiseasan semiconductor mar phròiseasan saothrachaidh toraidh, a ’toirt a-steach searbhag tioram, oxidation, cuir a-steach ian, tasgadh film tana, msaa.

Mar eisimpleir, tha fios aig mòran dhaoine gu bheil sgoltagan air an dèanamh le gainmheach, ach a 'coimhead air a' phròiseas iomlan de bhith a 'dèanamh chip, tha feum air barrachd stuthan, leithid photoresist, leaghan snasta, stuth targaid, gas sònraichte, msaa riatanach. Feumaidh pacadh cùl-cùil cuideachd fo-stratan, interposers, frèamaichean luaidhe, stuthan ceangail, msaa de dhiofar stuthan. Is e gasaichean sònraichte dealanach an dàrna stuth as motha ann an cosgaisean saothrachaidh semiconductor às deidh wafers silicon, air a leantainn le masgaichean agus photoresists.

Tha buaidh chinnteach aig purrachd gas air coileanadh phàirtean agus toradh toraidh, agus tha sàbhailteachd solar gas co-cheangailte ri slàinte luchd-obrach agus sàbhailteachd gnìomhachd factaraidh. Carson a tha purrachd gas a 'toirt buaidh cho mòr air loidhne pròiseas agus luchd-obrach? Chan e iomadachadh a tha seo, ach tha e air a dhearbhadh le feartan cunnartach a’ ghas fhèin.

Seòrsachadh gasaichean cumanta ann an gnìomhachas semiconductor

Gas àbhaisteach

Canar gas àbhaisteach cuideachd ri gas mòr: tha e a’ toirt iomradh air gas gnìomhachais le riatanas purrachd nas ìsle na 5N agus meud cinneasachaidh is reic mòr. Faodar a roinn ann an gas dealachaidh èadhair agus gas synthetigeach a rèir diofar dhòighean ullachaidh. Hydrogen (H2), nitrigin (N2), ocsaidean (O2), argon (A2), msaa;

Gas sònraichte

Tha gas sònraichte a’ toirt iomradh air gas gnìomhachais a thathas a’ cleachdadh ann an raointean sònraichte agus aig a bheil riatanasan sònraichte airson purrachd, measgachadh, agus feartan. Sa mhòr-chuidSiH4, PH3, B2H6, A8H3,HCL, CF4,NH3, POCL3, SIH2CL2, SIHCL3,NH3, BCL3, SIF4, CLF3, CO, C2F6, N2O, F2, HF, HBR,SF6… Agus mar sin air adhart.

Seòrsaichean de ghasaichean spìosrach

Seòrsaichean de ghasaichean sònraichte: creimneach, puinnseanta, lasanta, a’ toirt taic do losgadh, neo-sheasmhach, msaa.
Tha gasaichean semiconductor air an cleachdadh gu cumanta air an seòrsachadh mar a leanas:
(i) Creimneach/puinnseanta:HCl, BF3 , WF6 , HBr , SiH2Cl2 , NH3 , PH3 , Cl2 ,BCl3…
(ii) lasanta: H2,CH4、SiH4, PH3 , AsH3 , SiH2Cl2 , B2H6 , CH2F2 , CH3F , CO …
(iii) Fuasgladh: O2, Cl2, N2O, NF3…
(iv) Inert: N2,CF4C2F6,C4F8、SF6, CO2,Ne、Kr, Tha e…

Ann am pròiseas saothrachadh chip semiconductor, thathas a’ cleachdadh timcheall air 50 seòrsa de ghas sònraichte (ris an canar gasaichean sònraichte) ann an oxidation, sgaoilidh, tasgadh, searbhag, in-stealladh, photolithography agus pròiseasan eile, agus tha na ceumannan pròiseas iomlan nas àirde na ceudan. Mar eisimpleir, thathas a’ cleachdadh PH3 agus AsH3 mar stòran fosfair agus arsenic anns a’ phròiseas cuir a-steach ian, gasaichean stèidhichte air F CF4, CHF3, SF6 agus gasaichean halogen CI2, BCI3, HBr air an cleachdadh gu cumanta anns a’ phròiseas sìolachaidh, SiH4, NH3, N2O ann an pròiseas film tasgaidh, F2 / Kr / Ne, Kr / Ne sa phròiseas photolithography.

Bho na taobhan gu h-àrd, is urrainn dhuinn tuigsinn gu bheil mòran de ghasaichean semiconductor cronail do chorp an duine. Gu sònraichte, tha cuid de ghasaichean, leithid SiH4, gan lasadh fhèin. Cho fad 's a bhios iad ag aoidionach, bheir iad ionnsaigh fòirneartach le ocsaidean san adhar agus tòisichidh iad a' losgadh; agus tha AsH3 gu math puinnseanta. Faodaidh aodion beag sam bith cron a dhèanamh air beatha dhaoine, agus mar sin tha na riatanasan airson sàbhailteachd dealbhadh an t-siostam smachd airson cleachdadh gasaichean sònraichte gu sònraichte àrd.

Feumaidh semiconductors gasaichean fìor-ghlan gus a bhith “trì ìrean”

Glanachd gas

Mar as trice tha susbaint àile neo-chunbhalachd anns a’ ghas air a chuir an cèill mar àireamh sa cheud de purrachd gas, leithid 99.9999%. San fharsaingeachd, tha an riatanas purrachd airson gasaichean sònraichte dealanach a’ ruighinn 5N-6N, agus tha e cuideachd air a chuir an cèill leis a’ cho-mheas meud de shusbaint àile neo-chunbhalachd ppm (pàirt gach millean), ppb (pàirt gach billean), agus ppt (pàirt gach trillean). Tha na riatanasan as àirde aig an raon semiconductor dealanach airson purrachd agus seasmhachd càileachd gasaichean sònraichte, agus tha purrachd gasaichean sònraichte dealanach sa chumantas nas àirde na 6N.

Tiormachd

Tha susbaint uisge lorg anns a’ ghas, no fliuchd, mar as trice air a chuir an cèill ann am puing drùchd, leithid puing drùchd àile -70 ℃.

Glaineachd

Tha an àireamh de ghràineanan truaillidh anns a’ ghas, mìrean le meud gràin de µm, air a chuir an cèill ann an cia mheud gràinean/M3. Airson èadhar teann, mar as trice tha e air a chuir an cèill ann am mg/m3 de fhuigheall cruaidh nach gabh a sheachnadh, a tha a’ toirt a-steach susbaint ola.