Ann am pròiseas saothrachaidh fùirneis Walfer SenmondUnctor le pròiseasan toraidh an ìre mhath, tha feum air faisg air 50 diofar sheòrsaichean gas. Mar as trice tha gasaichean air an roinn ann an gasaichean mòr agusGases sònraichte.

Tha cur an gnìomh ghighean ann am microelectronics agus gnìomhachasan semicondulair a-riamh ann an cleachdadh gasaichean a-riamh ann an pròiseasan semiconctor, gu sònraichte air pròiseasan semiconductor ann an grunn ghnìomhachasan. Bho Ulsi, TFT-LCD ris a 'ghnìomhachas meanbh-chleasachd gnàthach, thathas a' cleachdadh pròiseasan tioram toraidh, oxidation, tasgadh tana, tasgadh film tana, msaa.

Mar eisimpleir, tha fios aig mòran dhaoine gu bheil sgoltagan air an dèanamh de ghainmhich, ach a 'coimhead air a' phròiseas air fad, leithid Photorsist, tha stuth targaid, gas sònraichte, msaa a tha riatanach. Feumaidh pacaid deireadh-taice bacadh, sgrìobhadairean-ciùil, frèamaichean luaidhe, stuthan a tha faisg air làimh, msaa air grunn stuthan. Is e gasaichean sònraichte dealanach an dàrna stuth as motha ann an cosgaisean saothrachaidh semiconductor an dèidh silicon wafers silicon, air a leantainn le masgaichean agus dealbhan-camara.

Tha buaidh chinnteach aig puurachd gas air coileanadh agus toradh toraidh co-phàirt, agus tha sàbhailteachd solar gas co-cheangailte ri slàinte luchd-obrach agus sàbhailteachd gnìomhachd fhactaraidh. Carson a tha buaidh cho mòr aig purity gas air loidhne a 'phròiseict agus luchd-obrach? Chan e seo a bhith a 'dèanamh a-mach, ach tha feartan cunnartach a thaobh a' ghas fhèin.

Seòrsachadh gasaichean cumanta anns a 'ghnìomhachas semiconder

Gas àbhaisteach

Canar gas mòr ris a 'ghas àbhaisteach cuideachd: Tha e a' toirt iomradh air gas gnìomhachais le riatanas purdachd nas ìsle na 5n agus leabhar-reic mòr agus leabhraichean riochdachaidh agus reic sgaoilte agus reic. Faodar a roinn ann an gas sgaradh adhair agus gas synthetigeach a rèir diofar dhòighean ullachaidh. Hydrogen (H2), Nitrogen (N2), Ocsaidean (O2), Argon (A2), msaa;

Gas sònraichte

Tha gas sònraichte a 'toirt iomradh air gas gnìomhachais a tha air a chleachdadh ann an raointean sònraichte agus tha riatanasan sònraichte aice airson puirt, measgachadh agus togalaichean. Sa mhòr-chuidSih4, Ph3, B2H6, A8H3,Hcl, CF4,Nh3, Pocl3, Si2cl2, Sihcl3,Nh3, Bcl3, Sif4, Clf3, Co, C2F6, N2O, F2, HF, HBR,SF6… Agus mar sin air adhart.

Seòrsaichean de ghasan spìosail

Seòrsan de ghasan sònraichte: Cladachaidh, puinnseanta, laite, cothlamadh-cothlamaidh, inert, msaa.
Tha gaothan semiconductor a 'cleachdadh gu cumanta mar a leanas:
(i) Clatrain / Toxic:Hcl, BF3, WF6, HB6, SIH2CL2, NH3, Ph3, CL2,Bcl3...
(ii) lasmmable: H2,Ch4,Sih4, Ph3, Ash3, SIH2CL2, B2NH6, Ch2F2, Ch3F, CO ...
(iii) Com-mhaoineachadh: O2, CL2, N2O, NF3 ...
(iv) inert: N2,CF4, C2f6,C4f8,SF6, CO2,Ne,Kr, Tha e ...

Ann am pròiseas saothrachadh searmonctor saothrachadh, tha timcheall air 50 diofar sheòrsa de ghasan sònraichte (eadar-theangachadh, in-stealladh, stàladh dealbhaidh agus pròiseasan a tha a 'dol nas àirde na ceudan. Mar eisimpleir, tha PH3 agus Ash3 air an cleachdadh mar phròiseas gluasadach aig Fiodha, F2 / Kr / nE, KR / NE anns a 'phròiseas dealbh-dealbhaidh.

Bho na taobhan gu h-àrd, is urrainn dhuinn tuigsinn gu bheil mòran de ghasan semiconductor a 'dèanamh cron air bodhaig an duine. Gu sònraichte, tha cuid de na gasaichean, leithid SIH4, fèin-fhilleadh. Cho fad 's a dh' aodaich iad, bidh iad a 'freagairt gu fòirneartach le ocsaidean san adhar agus tòisich a' losgadh; agus tha Ash3 gu math puinnseanta. Faodaidh breuc bheag sam bith cron a dhèanamh air beatha dhaoine, agus mar sin tha na riatanasan airson sàbhailteachd an t-siostam Siostam Smachd airson cleachdadh gasaichean sònraichte gu sònraichte àrd.

Feumaidh semiconduputurradhan gas a bhith a 'dèanamh "trì ìrean"

Purity gas

Mar as trice bithear a 'nochdadh susbaint neo-eisimileachd anns a' ghas mar cheudad de purrachd gas, leithid 99.9999%. San fharsaingeachd, tha an riatanas glan diadhachd airson gasaichean sònraichte dealanach a 'ruighinn 5n-6n, agus tha an co-mheas de gach millean), PPB (pàirt gach trillean) cuideachd. Anns an raon den semeonutory no an raon as àirde aig an raon as àirde airson purrachd agus seasmhachd càileachd gasaichean sònraichte, agus tha purrachd gasaichean sònraichte dealanach nas motha na 6n.

Tiormachd

Mar as trice bidh susbaint uisge anns a 'ghas, no fliuch, air a chur an cèill ann an Point Dew, leithid Spevopheric Dew Point -70 ℃.

Glainead

Tha an àireamh de ghràin bhallranan anns a 'ghas, na h-àrda le meud boilleann μm, air a chuir an cèill cia mheud pàirt / m3. Airson èadhar teann, mar as trice thèid a chur an cèill ann an MG / M3 de fhèistean cruaidh gun phàigheadh, anns a bheil susbaint ola.