Epitaxial (Fàs)GAMEED GAs

Anns a 'ghnìomhachas sememondUr, bhiodh an gas a' fàs aon sreath de stuth no barrachd de stuth le tasgadh vapaigeach ris an canar gas epitaxial gas.

Am measg nan gasaichean epitaxial epitaxial gu cumanta tha Dichlorosilae, silicon Tetraistidhride agussilane. Air a chleachdadh sa mhòr-chuid airson tasgadh silicon extaxial, tasgaidh film silicon oxide, tasgaidh film silicon, msaa. Tha aontan criostail ann an aon stuth criostal a th 'ann an aon stuth criostail agus a' fàs air uachdar luchte.

Gas measgaichte ceimigeach ceimigeach (CVD) gas measgaichte gas measgaichte

Is e CVD a th 'ann an CVD airson eileamaidean agus coilltean sònraichte a thas le còmhraidhean ceimigeach Ìre ìre gas a' cleachdadh deuchainnean ceimigeach Gas Gas. A rèir an t-seòrsa film a chaidh a chruthachadh, tha e cuideachd air a chleachdadh le gas tasgaidh (CVD) eadar-dhealaichte cuideachd.

DopingGas measgaichte

Ann a bhith a 'dèanamh innealan semicondUntor agus cuairtean aonaichte, tha cuid de neo-chunbhalachd air an dèanamh a-steach do stuthan seanaireachd, pnnnan, tha a' ghas air a chleachdadh a-steach don phròiseas dopadh.

Sa mhòr-chuid a 'toirt a-steach Arsine, Posphine, fosphorus Pentfluoride, fosphorurolide, trèanaichean arsenic, Penenic penenfluoride,Boron Trifulide, Diborone, msaa.

Mar as trice, tha an stòr Dopadh air a mheasgachadh le gas neach-giùlan (leithid Argon agus nitrogen) ann an caibineat stòr. An dèidh measgachadh, tha an sruth gas gu leantainneach air a chuir a-steach don fhùirneis sgaoilte agus a 'cuairteachadh doops air uachdar na Wafeir, agus an uairsin ag ath-obrachadh le silicon a ghineadh meatairean a chaidh a chuir a-steach gu silicon.

SearbhaganMeasgachadh Gas

Is e searbhadh a bhith a 'toirt air falbh an uachdar giullachd (leithid film meatailt, film oxide silico) gun a bhith a' gleidheadh ​​na sgìre le priobadh dhealbhan-tàimhneachain air an uachdar subtoming.

Tha dòighean searbhag a 'toirt a-steach stech seòlta ceimigeach agus searbhagan ceimigeach tioram. Canar Gas Etching a 'ghas air a chleachdadh ann an searbhag ceimigeach tioram.

Mar as trice tha gas searbhagach gas fluoride (halide), leithidcarbon tetrafulide, nitrogen trifulide, trifluroomee, hexafluororoche, perfluoroproparopan, msaa.