Tha sulfur hexafluoride na ghas le togalaichean insulating sàr-mhathas agus bidh e air a chleachdadh ann an Arc àrd-bheothachaidh, msaa, mar etchant dealanach cuideachd. Tha ìre dealanach àrd-putrity Hexafulide na etchant dealanach air leth math ann an achadh teicneòlas minnecereleconics. An-diugh, bheir Deasaiche gas sònraichte NiU Ruithe Yueye a 'toirt a-steach tagradh Sulfur Hexafluolide ann an snaidheadh agus buaidh diofar pharamadairean.
Bidh sinn a 'bruidhinn air pròiseas SF6 Plasma Plasan Plasax, a' gabhail a-steach cleachdadh cumhachd Plasma (agus a 'cleachdadh a' ghasachaidh air an ìre siochd aig gach gnè / hit Plasma agus E2 SF6 / O2 SF6 Solasachadh Ìre, agus a 'sgrùdadh a' cheangail eadar atharrachadh ìre searbhagais Sinx agus dùmhlachd gnèithean Plasma.
Tha sgrùdaidhean air lorg nuair a thèid cumhachd a 'phlasma a mheudachadh, tha an ìre searbhan a' meudachadh; Ma thèid an ìre sruthadh SF6 anns a 'phlasma a mheudachadh, tha an dùmhlachd Atom a' meudachadh agus a tha gu math ceangailte ris an ìre searbh. A bharrachd air an sin, às deidh dha a 'ghas Cutionic O2 a chuir fon ìre sruthadh iomlan stèidhichte, bidh buaidh ann an co-mheas seilbhe O2 / SF6 ann an diofar shuidheachaidhean SF6, agus chan eil an ìre searbhan aig an àm seo nas motha na nuair nach eil O2 air a chur ris. (2) Nuair a tha co-mheas flù O2 / SF6 nas motha na 0.2 chun an eadar-ama a 'tighinn faisg air 1, air sgàth an ùine mhòr gus f aitoman a chruthachadh, is e an ìre searbh an ìre mhath as àirde; Ach aig an aon àm, tha an otoms in the Plasma a 'dol am meud cuideachd agus tha e furasta a bhith a' cruthachadh Siox no Sinxo (Yx) leis an uachdar film sinx, is ann as duilghe a bhios na dadaman F airson an ath-bhualadh sèididh. Mar sin, bidh an ìre searbhan a 'tòiseachadh a' slaodadh sìos nuair a tha an co-mheas O2 / SF6 faisg air 1. Tha co-mheas O2 / SF6 nas àirde. Air sgàth an àrdachadh mòr ann an O2, a 'bualadh air na dadagan a' bualadh le O2 agus cruth, a 'lughdachadh dùmhlachd fuinn, a dh' aindeoin sin bidh lùghdachadh anns an ìre searbh. Chìthear bho seo a thèid O2 a chur ris, tha Co-chruinneachadh Flow de O2 / SF6 eadar 0.2 agus 0.8, agus an ìre searbhagachd as fheàrr.
Ùine a 'phuist: DEIV6-2021
