Haidridean clòraid'S e gas gun dath a th' ann le fàileadh geur. Canar searbhag haidreaclórach ris an fhuasgladh uisgeach aige, ris an canar cuideachd searbhag haidreaclórach. Tha clòraid haidridean gu math so-sgaoilte ann an uisge. Aig 0°C, faodaidh 1 tomhas-lìonaidh uisge mu 500 tomhas-lìonaidh de chlòraid haidridean a sgaoileadh.

Tha na feartan agus na feartan a leanas aige:

1. Glanachd àrd

Purrachd ìre dealanachhaidridean clòraidtha e glè àrd, mar as trice aig ppm no ìre nas ìsle, gus dèanamh cinnteach nach tèid neo-chunbhalachdan sam bith a thoirt a-steach don phròiseas saothrachaidh leth-chonnsachaidh.

2. Neo-ghnìomhachd

Is e gas neo-ghnìomhach ceimigeach a th’ ann nach eil ag ath-bhualadh le mòran stuthan eile, rud a tha glè chudromach gus casg a chuir air truailleadh stuthan agus uidheamachd leth-chonnsachaidh.

3. Seasmhachd àrd

Ìre dealanachhaidridean clòraidsan fharsaingeachd tha ceimigeachd sheasmhach ann gus dèanamh cinnteach à giullachd leth-chonnsachaidh earbsach.

Ann an giullachd leth-chonnsachaidh, is iad na prìomh chleachdaidhean airson haidridean clòraid ìre dealanach:

1. Glanadh agus ullachadh uachdar

Mar inneal-glanaidh uachdar èifeachdach, ìre dealanachhaidridean clòraidair a chleachdadh gus ocsaidean agus neo-chunbhalachdan a thoirt air falbh bho uachdar an t-substrate gus dèanamh cinnteach à càileachd agus purrachd an t-sreath no an fhilm epitaxial.

2. Taic fàis epitaxial

Air a chleachdadh mar àidseant làimhseachaidh uachdar sa phròiseas epitaxial, bidh e a’ cuideachadh le bhith a’ leasachadh càileachd an t-sreath epitaxial, a’ leasachadh maidseadh crochte, agus a’ lughdachadh cruthachadh lochdan crochte.

3. Ro-làimhseachadh fo-strat

Mus tèid innealan leth-chonnsachaidh ullachadh, ìre dealanachhaidridean clòraidfaodar a chleachdadh gus uachdar an t-substrate a làimhseachadh gus bunait sheasmhach a chruthachadh gus an greamachadh eadar an sreath epitaxial agus an t-substrate a leasachadh.

4. Àidseant taice tasgaidh

Ann am pròiseas tasgadh smùid ceimigeach (CVD) no tasgadh smùid corporra (PVD), faodar haidridean clòraid ìre dealanach a chleachdadh mar mheadhan gluasaid ìre gas gus pàirt a ghabhail ann an ath-bhualadh tasgadh stuthan leth-chonnsachaidh.

5. Àidseant gluasaid ìre gas

Mar àidseant gluasaid ìre gasach, thèid ro-ruithearan gasach eile a thoirt a-steach don t-seòmar ath-bhualadh gus cuideachadh le bhith ag atharrachadh an ìre tasgaidh agus cunbhalachd an stuth.

Tha na feartan seo a’ dèanamh ìre dealanachhaidridean clòraidàidseant giullachd cudromach ann an teicneòlas leth-chonnsachaidh, aig a bheil buaidh mhòr air coileanadh agus earbsachd an inneil chrìochnaichte.

A bharrachd air a chleachdadh ann an giullachd leth-chonnsachaidh, faodar clòraid haidridean ìre dealanach a lorg ann an grunn raointean eile, nam measg: Ullachadh stuthan àrd-ghlainead, ceallan connaidh, fàs stuthan leth-chonnsachaidh, litagrafaidheachd ìre smùide, mion-sgrùdadh stuthan, rannsachadh ceimigeach.

San fharsaingeachd, ìre dealanachhaidridean clòraid'S e gas ioma-chruthach, àrd-ghlanachd a th' ann aig a bheil raon farsaing de thagraidhean taobh a-muigh saothrachadh leth-chonnsachaidh.